夏黎接过陆定远怀里的显微镜,放在加高的平台上,头都没抬的道:“没事,我一会儿用纸壳和胶带封上就行。
今晚上进行的改造只是理论上可行,实际上还得进行实验才能知道好不好用。
今晚肯定不是最后一遭,就算焊上了,到时候再拆也费劲。
而且纸壳也没什么不好的,就那些人珍爱光刻机的程度,谁会破坏纸壳?
乔尔每天可都是最后一个走,仔仔细细锁好门窗,不让任何人有可乘之机。
白天谁都没办法光明正大的破坏光刻机。”
至于其他时间段想要来破坏光刻机……
都有机会溜进来了,别说是破坏纸壳,就算是通体镶钻,人家想把机器弄坏也能想出来办法,一层铁皮根本就不影响。
陆定远:……
陆定远想起乔尔留下的那些“防盗手段”倒是并没反驳夏黎这话。
只不过他心里非常疑惑,他未来的岳父岳母以前到底是怎么亏待这小丫头了,才能导致这小丫头处处都能想到纸壳。
夏黎和陆定远说完,就继续开始搞自己的科研。
她把平台做成了一个水平和垂直方向都可以移动的款式,然后把显微镜放在平台上,用来测量光掩膜和硅片间距离,让光刻时两者尽量靠近,但又不直接接触。
做完这一切,夏黎长长的松了一口气。
“包上吧,包完咱俩就回家睡觉。”
陆定远:“……好。”
二人一起,手脚麻利的给光刻机“穿上皇帝的新装”。
再抬头,天都快亮了。
二人不禁在心里长叹口气,迅速撤离。
回去的路上,陆定远询问夏黎。
“你是觉得今天这种改良方案也不行?
如果单纯从不沾灰的角度讲,通过掩模垂直透光,应该很容易能达到你想要的效果。”
光透过小缝隙垂直照下去,哪有缝隙,
陆定远虽然不是什么科研人员,但在初中物理课也算是学霸的他,觉得之前夏黎说精度可能还是不够,这句话有些违背物理常识。
心中疑惑,便在回来的路上直接问了夏黎。
夏黎倒是也没隐瞒。
想了想,她抽过陆定远手里的手电筒,把另外一只手圈成ok状,用手电筒的光垂直直射手指圈成的圈,之后对陆定远朝地上微微抬了抬下巴。
手电筒的光透过夏黎手指圈成的圈,并没有在地上照亮和夏黎手指圈一样大小的光圈,而是照亮很大一片昏黄的灯光。
夏黎:“理论上确实可行,但物理书上的许多理论都是刨除一切外界因素,最单纯的原理。
实际上,光具有波动性,在通过小孔、窄缝,遇到细微障碍物时产生衍射,或者叫绕射,使光偏离原本的直线传播,照到不应该照到的地方。
光源波长相比窄缝越大,衍射先向越重。
你想用氘灯在硅片上刻一道100纳米的扣子,结果你的山东范围有400纳米宽,精度自然就会有所下降。